直流磁控溅射电源

我们的胡森溅射电源采用先进的PWM脉冲宽度调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，具有体积小、重量轻、功能齐全、性能稳定可靠、生产工艺严格完善等特点。

我们的系列电源产品采用先进的DSP控制系统，充分保证了涂层工艺的重复性，并具有抑制靶材电弧放电和短路电阻的功能，负载匹配能力强，不仅保证了靶材表面清洗工艺的稳定性，而且提高了靶材表面清洗速度；主要参数可在较大范围内连续调节；维护方便，可靠性高；PLC接口和RS485接口扩展了功能，便于自动控制。

主要特点如下：

1. 采用先进的电流模式开关电源该技术可减少输出储能元件的数量。同时，它提高了抑制火花和重启的速度，并且在铝靶涂层方面具有更明显的优势。

2. 可选择恒流/恒功率模式。与传统的恒流模式相比，恒功率模式能够更好地保证涂覆工艺的重复性。

3. 它具有理想的电压陡降特性，能够自动识别错误点火，完全满足磁控溅射工艺的连续性要求。

4. 阴极溅射性能良好，可可靠地溅射各种金属或非金属靶材。

5. 可选择手动控制/模拟接口控制，也可选择 RS485 通信接口。

6. 这直流磁控溅射电源专为实验真空设备定制，与生产设备相比，可降低客户的能耗、体积和成本。

7. 微秒级电弧熄灭可以完全消除因点火而导致产品缺陷的现象。

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