直流磁控溅射电源

我们的惠森溅射电源采用先进的PWM脉宽调制技术，采用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，具有体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠、生产工艺严格完善等特点。

我们的系列电源产品采用先进的DSP控制系统，充分保证了镀膜过程的重复性，并具有抑制靶材电弧放电和抗短路功能，并具有优异的负载匹配能力，不仅保证了靶材表面的稳定性清洗过程中，还提高了目标表面的清洗速度；主要参数可大范围连续调节；维护方便、可靠性高；PLC接口和RS485接口扩展功能，方便自动控制。

主要特点如下：

1.采用先进的电流模式开关电源减少输出储能元件的技术。同时提高了抑制打火和重启的速度，在铝靶材镀膜方面优势更加明显。

2. 可选择恒流/恒功率模式。与传统的恒流模式、恒功率模式相比，可以保证镀膜过程的重复性。

3、具有理想的电压陡降特性，并能自动识别误点火，完全满足磁控溅射工艺的连续性。

4、良好的阴极溅射性能，可靠溅射各种金属或非金属靶材。

5、可选择手动控制/模拟接口控制，可选择RS485通讯接口。

6. 的直流磁控溅射电源专为实验真空设备定制，相对于生产设备，为客户减少功率体积和成本

7、微秒灭弧，彻底杜绝因打火而产生的不良品现象。

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