高精度实验室电源 0-6A 5000W 直流磁控溅射电源

简短描述：

简介：

我们的溅射系列电源采用先进的DSP控制系统，充分保证了镀膜工艺的重复性，并具有抑制靶材电弧放电和短路电阻的功能，以及优异的负载匹配能力，不仅保证了靶材表面清洗过程的稳定性，而且提高了靶材表面清洗速度；主要参数可在较大范围内连续调节；维护方便，可靠性高；PLC接口和RS485接口扩展了功能，便于自动控制。

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特征：

• 采用大尺寸彩色屏幕设计，高清显示

• 低纹波，低噪声

• 恒压和恒流工作状态自动切换

• 支持远程采样，输出更准确

• 自动过压保护/过流保护/过电位保护/过温保护/短路保护

• 智能风扇控制，降低噪音，节省能源

• 前面板锁定功能，防止误操作

• 机架内可安装19英寸3U机箱

• 支持 RS232/RS485 和以太网控制接口

• 操作系统用户界面采用扁平化图标设计，人机交互更加舒适

• LAN 双网口，合并调试一个网络直至末端

规格：

产品名称	直流磁控溅射电镀电源
项目编号	HSJ-5KW-6
类型	CNC智能电源
输入电压	AC220±10%V
输出功率	5千瓦
输出电流	直流 0~6A
输出电压	工作电压 -200V~-800V，空载电压 >-1kV
输出波形	可定制恒压、恒流、恒功率
波形	单极直流
工作模式	稳定压力
调节精度	≤1%
效率	≥90%
功率因数	cosΦ≥0.9
显示模式	中英文液晶显示屏
显示内容	工作状态、输出电压、输出电流、设定值
输出保护	输出过压、输出过流和输出失调
输入保护	输出过压、输出欠压、输入过流、开路
安全防护	接地保护、漏电保护、外部控制保护、防雷保护、过热保护
绝缘等级	B
保护级	IP20
保护响应时间	1微秒
输入壳体电阻	≥20MΩ
输出壳电阻	≥20MΩ
输入耐压	2000伏/1分钟
输出耐压	3500伏/1分钟
温度	0~35℃
湿度	≤80%
冷却模式	空气冷却
方面	480135380（毫米）
笔记	出厂默认模拟接口、RS485 等